今天來給大家介紹下MEMS陀螺儀，MEMS陀螺儀又被稱之為MEMS傳感器，MEMS陀螺儀的核心是一個(gè)微加工機(jī)械單元，在設(shè)計(jì)上按照一個(gè)音叉機(jī)制共振運(yùn)動(dòng)，通過科里奧利力原理把角速率轉(zhuǎn)換成一個(gè)特定感測(cè)結(jié)構(gòu)的位移。以一個(gè)單軸偏移（偏航，YAW）陀螺儀為例，通過圖利探討簡(jiǎn)單的工作原理。光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品，現(xiàn)在該技術(shù)面臨自愛普生高精度陀螺儀新的競(jìng)爭(zhēng)。微機(jī)電系統(tǒng)MEMS陀螺儀開始搶奪傳統(tǒng)FOG應(yīng)用的市場(chǎng)份額。具體來說，天線陣列穩(wěn)定、農(nóng)業(yè)機(jī)械控制、常規(guī)車輛導(dǎo)航成為MEMS和FOG對(duì)峙的戰(zhàn)場(chǎng)。MEMS陀螺儀應(yīng)用可以從早的汽車電子到近些年來的消費(fèi)電子，和即將來到的物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代。如今單一的傳感器已不能滿足人們對(duì)功能、智能的需要，像包括MEMS慣性傳感器、MEMS環(huán)境傳感器、MEMS光學(xué)傳感器、甚至生物傳感器等多種傳感器數(shù)據(jù)融合將成為新時(shí)代傳感器應(yīng)用的趨勢(shì)。

MEMS陀螺儀與FOG光纖陀螺儀相比從性能參數(shù)看非常接近，特別是EPSON新推出的MG365,MG370等系列參數(shù)已經(jīng)達(dá)到了FOG戰(zhàn)術(shù)級(jí)性能水平，但其成本卻比其低出數(shù)倍。如果可以使用GNSS，而且應(yīng)用的目的是在開放天空環(huán)境中運(yùn)行，MEMS陀螺儀可以取代FOG光纖陀螺儀。如果應(yīng)用能夠接收車輛或平臺(tái)速度更新，則愛普生MEMS陀螺儀系統(tǒng)可以達(dá)到與獨(dú)立FOG系統(tǒng)相同的水平。這將迅速加速六軸陀螺儀在自動(dòng)駕駛汽車等領(lǐng)域的推廣應(yīng)用。

下面南山電子給大家介紹下MEMS陀螺儀  MG370的具體參數(shù)供大家選型參考：

愛普生MG370使用的MEMS陀螺儀采用多核架構(gòu)，該架構(gòu)在穩(wěn)定度、噪聲、線性度和線性g性能之間達(dá)到了優(yōu)化平衡。完*差分四諧振器與片內(nèi)高性能信號(hào)調(diào)理密切配合，從而使得諧振器的必需響應(yīng)范圍*小，位于高度線性區(qū)，并且提供高度的振動(dòng)抑制。由于MEMS陀螺儀和加速度計(jì)集成到多軸IMU中,傳感器的x/y/z正交性可能成為主要誤差源。主要誤差源往往由跨軸靈敏度或?qū)?zhǔn)誤差指定。常見規(guī)格是±2%跨軸靈敏度。本系統(tǒng)的IMU具有0.087%的跨軸靈敏度(0.05°正交性)。更重要的是，由于器件特定的校準(zhǔn)在出廠前完成，此規(guī)格在溫度范圍內(nèi)有效。南山電子除了供應(yīng)以上MEMS陀螺儀以外，還提供其他各種型號(hào)有源晶振和無源晶振，時(shí)鐘芯片，角速度傳感器，高精度編程晶振等，歡迎各位新老顧客來電垂詢，或者直接到我們某寶店——南山E店直接購買。